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無塵室Fab設備專用潤滑產品

無塵室Fab設備專用潤滑產品


半導體/LCD面板/LED晶圓/IC封測/太陽能電池 製造Fab裡的設備,常見的潤滑點包含線性傳動元件(線軌、滾珠螺桿)、Roller軸承、Robot減速齒輪箱、鍊條等。

無塵室內對潤滑劑的一般需求,是低發塵、低揮發,有時需要耐高溫、耐真空、耐水洗甚或耐酸鹼。針對上述需求,克魯勃潤滑劑公司特別推出以下產品系列:



產品名稱 主要成份 應用
Klübersynth BEM 34-32 合成烴基礎油、複合鈣基皂 超高潔淨要求(例:裸露的wafer旁)的軸承、線軌、螺桿、滑軌、導軌等金屬摩擦點
ISOFLEX TOPAS
NCA 52 / NCA 152
合成烴基礎油、複合鈣基皂 NCA 52:高速線軌/螺桿(>1m/s)、軸承、滑軌、導軌
NCA 152:中低速或重負荷線軌/螺桿、軸承、滑軌、導軌
適用溫度-40~140°C,可用於粗真空中(>1mbar)
Klübersynth AR 34-401 合成烴基礎油、複合鈣基皂 各種橡、塑膠摩擦件,如氣壓缸密封圈
(EPDM、IR等橡膠除外)
BARRIERTA KM 192 線性氟化基礎油、微粒PTFE 特殊環境下的線軌/螺桿、軸承、滑軌、導軌等,如中高真空(10~10-6mbar)、高溫(<260°C)、拉觸侵蝕性液氣體(清潔液、有機溶劑、酸鹼 等)
Klüberplex BEM 41-141 半合成基礎油、複合鋰基皂 Robot行星主減速機、高頻往復運動之線軌/螺桿/軸承(如wire bonder)
PRIMIUM FLUID SPECIAL 合成烴/合成酯基礎油 高負荷、高溫(<260°C)環境下的鍊條